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溅射薄膜的特性是什么？
发布日期:
2023-06-06 11:15
来源
良好的膜厚可控性和重复性，无论镀膜层的厚度可以被控制在预定值，称为膜厚度可控性。所需的层厚度在多次重复性中被再现，这被称为膜厚度重复性。由于可以分别控制真空溅射涂层的放电电流和靶电流。可以通过控制目标电流来控制膜厚度。因此，溅射涂层的膜厚度可控性更为重要，并且可以可靠地镀覆预定厚度的膜。此外，溅射涂层可以在较大的表面上实现均匀的厚度。
薄膜和衬底之间的粘附性很强，溅射原子的能量为比蒸发的原子高1~2个数量级。沉积在衬底上的高能溅射原子比蒸发原子执行高得多的能量转换，产生更高的热量并增强溅射原子与衬底的粘附性。并且一些高能溅射原子产生不同程度的注入现象，在衬底上形成溅射原子与衬底原子相互溶解的伪扩散层。此外，在成膜过程中，衬底总是在等离子体区域中被清洁和活化，去除具有弱粘附性的溅射原子，并净化和活化衬底表面。因此，溅射膜和衬底之间的粘附性强，膜层的纯度好，纯度好，因为存在在溅射膜装置中的蒸发膜装置中没有坩埚构件。因此，溅射膜层将不会与坩埚加热器材料的成分混合。
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